UV-Sensor für die Photolithographie entwickelt

11.11.2014

Der UV-Sensor dient zur Messung der Lichtintensität von UV-Licht. Dieses Licht wird zum Beispiel zur Belichtung von Photolacken eingesetzt. Diese sind üblicherweise im Wellenlängenbereich von 300 nm bis 500 nm empfindlich.

Während herkömmliche Belichtungsmesser und Photodioden über einen weiten Wellenlängenbereich empfindlich sind (z.B. 300 – 1200 nm bei einer Silizium-Photodiode) ist beim UV-Sensor der Wellenlängenbereich, in dem der Sensor anspricht, eingeschränkt. Die Empfindlichkeit des Sensors reicht von 310 nm bis 490 nm. Dieser Bereich entspricht im Wesentlichen dem Empfindlichkeitsbereich des Photolackes. Der Sensor selbst besteht aus einer Silizium-Photodiode, die das einfallende Licht in einen Messstrom umwandelt, welche von zwei sich ergänzenden UV-Filtern abgedeckt ist.