Neues Spektralellipsometer am LSC Gelsenkirchen

17.8.2015

Das Fraunhofer ISE Labor- und Servicecenter Gelsenkirchen hat ein neues Spektralellipsometer erhalten. Die Beschaffung erfolgte im Rahmen des NRW-Projektes NanoSol. Das Ellipsometer wird die Möglichkeiten des LSC zur optischen Charakterisierung von (dünnen) Schichten deutlich erweitern.

So lassen sich die optischen Konstanten in einem weiten Wellenlängenbereich von 190 nm bis 2100 nm bestimmen. Diese Messungen können auch ortsaufgelöst auf einer Fläche von 156 mm x 156 mm durchgeführt werden. Durch eine eingebaute Kamerasteuerung lassen sich gezielt Bereiche auf den Messproben anfahren. Das Ellipsometer verfügt darüber hinaus über einen zusätzlichen Probentisch, mit dem auch dünne Schichten auf texturierten Siliziumwafern vermessen werden können, eine Option, die vor allen Dingen für die Herstellung von Silizium-Heterosolarzellen interessant ist.